最早的激光清楚表面小颗粒的文献是由Petrov领导的研究小组在1984年发表，同时期还有3个独立研就的小组发现了激光清洗的效果，分别是Zapka所在的小组获得第一个关于激光清洗上的专利；以及德国的马普生物化学及物理研究所也做实验证明了使用激光清洗固体表面小颗粒是可行的；还有IBM阿尔马登研究中心的Andrew在湿式激光清洗上作出很多有益的研究。从最初的研究中，通过实验证明激光清洗是一种清除亚微米量级颗粒的有效方法